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Wärmeleitfähigkeitssensor für Gase

TCS208 

 

Bild: Sensor mit Sockel

 

  Wärmeleitfähigkeitsmonitor
  Aufnehmerköpfe
  Datenblatt

 

 

Merkmale:

  • Wärmeleitfähigkeits-Sensor für Gase in Silizium-Mikromechanik-Ausführung

  • Minimale Leistungsaufnahme, niedrige Temperaturen

  • Sehr kleine Abmessungen, kurze Zeitkonstanten

  • Messung an kleinsten Gasvolumina

  • Keine Strömungsabhängigkeit, Gasaustausch durch Diffusion

  • Integrierte Widerstände zur Temperaturkompensation

  • Aufbau auf TO8-Sockel, stoßfest